水熱合成法により成膜したPZT多結晶膜を用いた小型超音波プローブの特性評価

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2011/06/01

タイトル(英語): Evaluation of Small Ultrasonic Probe using Lead Zirconate Titanate poly-crystal Film Deposited by Hydrothermal Method

著者名: 長谷川　智仁（東京工業大学 総合理工学研究科），石河　睦生（東京工業大学 総合理工学研究科），黒澤　実（東京工業大学 総合理工学研究科），竹内　真一（桐蔭横浜大学 臨床工学科）

著者名(英語): Tomohito Hasegawa (Tokyo Institute of Technology), Mutsuo Ishikawa (Tokyo Institute of Technology), Minoru Kuribayashi Kurosawa (Tokyo Institute of Technology), Shinichi Takeuchi (Toin University of Yokohama)

キーワード: 水熱合成法，PZT多結晶膜，超音波プローブ，距離分解能，方位分解能　　Hydrothermal depositoin，PZT film，Ultrasound probe，Axial resolution，Lateral resolution

要約(英語): Two types of transducers for small ultrasound probes were fabricated. Titanium or epoxy resin were used for the backing material of the transducers. The piezoelectric material was lead zirconate titanate (PZT) that was deposited by the hydrothermal method. These transducers were built into a small ultrasound probe and the characteristics were evaluated. As a result, we succeeded in the fabrication of a wideband ultrasound probe with a distance resolution of 16μm, a frequency bandwidth of 69MHz in the range of 39 to 98MHz, and a fractional bandwidth of 86% at the epoxy resin backing probe.

本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.131 No.6 （2011） 特集：圧電材料・デバイス

本誌掲載ページ: 1174-1180 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/131/6/131_6_1174/_article/-char/ja/