ドライプロセスによるITO粉の合成とそれを用いて作製したITOターゲットのライフ特性
ドライプロセスによるITO粉の合成とそれを用いて作製したITOターゲットのライフ特性
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【C】電子・情報・システム部門
発行日: 2012/01/01
タイトル(英語): Synthesis of ITO Powder by Dry Process and Lifetime Characteristics of the ITO Target Fabricated with its Powder
著者名: 高橋 誠一郎(山口大学大学院理工学研究科/三井金属鉱業(株)総合研究所),伊東 洋典(山口大学大学院理工学研究科),小松 隆一(山口大学大学院理工学研究科)
著者名(英語): Seiichiro Takahashi (Graduate School of Science and Engineering, Yamaguchi University/Corporate R&D Center, Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.), Hironori Itoh (Graduate School of Science and Engineering, Yamaguchi University), Ryuichi Komatsu (Graduate School of Science and Engineering, Yamaguchi University)
キーワード: ITO,スパッタリングターゲット,ターゲットライフ,乾式合成,炭素濃度,ITO粉 ITO,Sputtering target,Target lifetime,Dry synthesis,Carbon concentration,ITO powder
要約(英語): Lifetime of an indium tin oxide (ITO) target is an important characteristic in the production of liquid crystal displays (LCDs). Increasing the sintering density of the ITO target is assumed to lead to an increased lifetime. So far, it has been clarified that the carbon concentration in In2O3 powder, the raw material of ITO targets, influences remarkably the target lifetime. In this study, with the aim of reducing the concentration of carbon in In2O3 powder, the synthesis of In2O3 powder containing dissolved Sn by a dry process was performed.
本誌: 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) Vol.132 No.1 (2012) 特集:確率的最適化と機械学習の統計的設計と応用
本誌掲載ページ: 77-82 p
原稿種別: 論文/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/132/1/132_1_77/_article/-char/ja/
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