原子層成長法による「水の窓」域軟X線酸化物ミラー

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2013/03/01

タイトル(英語): Novel Oxide Multilayer Mirrors at "Water-Window" Wavelengths Fabricated by Atomic Layer Epitaxy

著者名: 熊谷　寛（北里大学大学院　医療系研究科）

著者名(英語): Hiroshi Kumagai (Graduate School of Medical Sciences, Kitasato University)

キーワード: 軟X線，多層膜ミラー，酸化物，原子層成長　　soft x ray，multilayer mirror，oxide，atomic layer epitaxy

要約(英語): A new approach to the fabrication of multilayer mirrors on an atomic scale at soft x-ray wavelengths is desired to overcome serious problems regarding scattering loss at the rough surface and interface of the multilayer. In this review, resent progress regarding novel approaches utilizing atomic layer epitaxy to the fabrication of multilayer structures for soft x-ray wavelengths is detailed. These novel approaches are expected to solve the above-mentioned problems and then take the place of conventional sputtering methods because of their control performance of the surface on an atomic scale through their self-limiting functions.

本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.133 No.3 （2013） 特集Ⅰ：電磁波の技術と科学および信号処理　特集Ⅱ：電子・情報・システム分野の最先端技術

本誌掲載ページ: 479-483 p

原稿種別: 解説／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/133/3/133_479/_article/-char/ja/