超短パルスレーザ加工の実用化技術

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2015/09/01

タイトル(英語): Practical Applications of Ultrafast Laser Processing

著者名: 杉岡　幸次（国立研究開発法人 理化学研究所 光量子工学研究領域）

著者名(英語): Koji Sugioka (RIKEN Center for Advanced Photonics)

キーワード: 超短パルスレーザ，フェムト秒レーザ，ピコ秒レーザ，レーザ加工，商業応用，産業応用　　ultrafast laser，femtosecond laser，picosecond laser，laser processing，commercial application，industrial application

要約(英語): The rapid development of ultrafast lasers, such as femtosecond and picosecond lasers, has revolutionized materials processing due to its unique characteristics of ultrashort pulse width and extremely high peak intensity. The ultrashort pulse width suppresses the formation of a heat-affected zone (HAZ), which is vital for ultrahigh precision fabrication, whereas the extremely high peak intensity allows nonlinear interactions such as multiphoton absorption and tunneling ionization to be induced in transparent materials, which provides versatility in terms of the materials that can be processed. Thus, ultrafast lasers are currently used widely for not only fundamental research but also practical applications. This review paper describes the characteristics of ultrafast laser processing and then introduces the state-of-the-art of practical applications of ultrafast laser processing.

本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.135 No.9 （2015） 特集：サステナブル社会・先端応用へ向けたレーザプロセシング技術

本誌掲載ページ: 1037-1042 p

原稿種別: 解説／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/135/9/135_1037/_article/-char/ja/