フッ素レーザにより形成されたポリカーボネート上の透明硬質膜のクラック抑制

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2015/09/01

タイトル(英語): Crack Suppression of Transparent Protective Layer on Polycarbonate Formed by Fluorine Laser

著者名: 大越　昌幸（防衛大学校 電気情報学群電気電子工学科）

著者名(英語): Masayuki Okoshi (Department of Electrical and Electronic Engineering, National Defense Academy)

キーワード: フッ素レーザ，ポリカーボネート，シリコーン，シリカ，クラック抑制　　fluorine laser，polycarbonate，silicone，silica，crack suppression

要約(英語): A transparent, hard silica glass (SiO2) layer was formed on a conventional protective coat made of silicone ([SiO(CH3)2]n) on a polycarbonate plate by the 157 nm fluorine (F2) laser-induced photochemical modification of silicone into SiO2. Long exposure of the F2 laser to the sample produced cracks on the surface; a metallic mesh mask was set on the sample during F2 laser irradiation to suppress the cracks successfully. As a result, the thickness of the formed SiO2 layer could increase to approximately 1.3 µm without any crack, and the hardness of the sample also increased to approximately 2.8 GPa.

本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.135 No.9 （2015） 特集：サステナブル社会・先端応用へ向けたレーザプロセシング技術

本誌掲載ページ: 1071-1074 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/135/9/135_1071/_article/-char/ja/