ポリマー基板上金属酸化物薄膜:コーティング法と機能設計
ポリマー基板上金属酸化物薄膜:コーティング法と機能設計
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【C】電子・情報・システム部門
発行日: 2019/03/01
タイトル(英語): Coating Method of Tailoring Advanced Functions of Metal-oxide Films Deposited on Polymer Substrates
著者名: 山本 哲也(高知工科大学総合研究所・マテリアルデザインセンター),古林 寛(高知工科大学総合研究所・マテリアルデザインセンター)
著者名(英語): Tetsuya Yamamoto (Materials Design Center, Research Institute, Kochi University of Technology), Yutaka Furubayashi (Materials Design Center, Research Institute, Kochi University of Technology)
キーワード: 金属酸化物,ポリマー基板 metal oxides,polymer substrates
要約(英語): Key factors to achieve functional metal oxide films deposited on flexible polymer-film substrates are discussed. The use of reactive plasma deposition with dc-arc discharge is an effective coating method to grow the metal oxide films with reduced residual stress, leading to the tailored functional films for wide applications.
本誌: 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) Vol.139 No.3 (2019) 特集:フレキシブルセラミックスコーティング
本誌掲載ページ: 185-191 p
原稿種別: 論文/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/139/3/139_185/_article/-char/ja/
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