シリコーンゴム表面に作製した周期的微細隆起構造へのAl薄膜形成による超撥水性の発現
シリコーンゴム表面に作製した周期的微細隆起構造へのAl薄膜形成による超撥水性の発現
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【C】電子・情報・システム部門
発行日: 2019/03/01
タイトル(英語): Formation of Textured Al Thin Film on Periodic Micro-Swelling Structure Fabricated on Silicone Rubber Surface to Realize Superhydrophobicity
著者名: 大越 昌幸(防衛大学校 電気情報学群電気電子工学科)
著者名(英語): Masayuki Okoshi (Department of Electrical and Electronic Engineering, National Defense Academy)
キーワード: ArFエキシマレーザ,シリコーンゴム,微細隆起構造,Al薄膜,超撥水性 ArF excimer laser,silicone rubber,micro-swelling structure,Al thin film,superhydrophobicity
要約(英語): Periodic micro-swelling structure was fabricated on silicone rubber by the 193-nm ArF excimer laser induced photodissociation of silicone; subsequent deposition of Al thin film on the sample surface significantly improved the superhydrophobicity. To discuss the improvement, Al thin film was deposited on a flat slide glass, silicone rubber and silicone resin substrates. Under a scanning electron microscope, textured structure of Al thin film was found only on the silicone rubber. As a result, contact angle of water on the sample with the textured Al indicated to be approximately 165 degrees, compared with the case of 155 degrees before Al deposition.
本誌: 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) Vol.139 No.3 (2019) 特集:フレキシブルセラミックスコーティング
本誌掲載ページ: 192-196 p
原稿種別: 論文/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/139/3/139_192/_article/-char/ja/
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