フレキシブルBaTiO3薄膜の作製

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Fabrication of Flexible BaTiO3 Thin Films

著者名: 馬谷　真司（近畿大学大学院生物理工学研究科），西川　博昭（近畿大学生物理工学部）

著者名(英語): Shinji Umatani (Graduate School of Biology-Oriented Science and Technology, Kindai University), Hiroaki Nishikawa (Faculty of Biology-Oriented Science and Technology, Kindai University)

キーワード: フレキシブルコーティング，機能性酸化物，エピタキシャル薄膜　　flexible coating，functional oxide，epitaxial thin film

要約(英語): Most flexible polymer substrates are not heat-resistive. Therefore, flexible devices mainly consisted of amorphous oxides or organic materials showing excellent electric property and/or optical transparency because they are easy to prepare with the excellent properties even at low process temperature. In this study, we report a trial of transferring ferroelectric BaTiO3 “epitaxial” thin film on flexible plastic sheet using acid etching process of MgO(100) single-crystal substrate.

本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.139 No.3 （2019） 特集：フレキシブルセラミックスコーティング

本誌掲載ページ: 211-212 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/139/3/139_211/_article/-char/ja/