Laser SpeckleのためのUV光を用いた鏡面測定
Laser SpeckleのためのUV光を用いた鏡面測定
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【C】電子・情報・システム部門
発行日: 2021/01/01
タイトル(英語): Polishing Surface Measurements by Laser-speckle Methods with Ultraviolet Wavelengths
著者名: 馬 昀?(Hangzhou Hikvision Digital Technology Co., Ltd.),王 景(東京都立大学大学院 システムデザイン研究科),渡部 泰明(東京都立大学大学院 システムデザイン研究科),佐藤 隆幸(東京都立大学大学院 システムデザイン研究科)
著者名(英語): Yunhao Ma (Hangzhou Hikvision Digital Technology Co., Ltd.), Jing Wang (Tokyo Metropolitan University), Yasuaki Watanabe (Tokyo Metropolitan University), Takayuki Sato (Tokyo Metropolitan University)
キーワード: 鏡面測定,Laser Speckle,UV光 polishing Surface Measurement,Laser Speckle,ultraviolet wavelengths
要約(英語): A non mechanical scanning method is developed for mapping absolute vibrational patterns of a polishing surface piezoelectric device. In this paper, by improving the traditional Laser Speckle method, we first proved the method can measure the polished scattered light of the smooth surfaces. As a result, using 377nm of an ultraviolet laser device, the simulation of the polished surface was carried out to 45 from 10 degrees, and, moreover, the reflection coefficients found area of 35% or less by the measurements.
本誌: 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) Vol.141 No.1 (2021) 特集:電子回路関連技術
本誌掲載ページ: 59-60 p
原稿種別: 研究開発レター/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/141/1/141_59/_article/-char/ja/
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