フレキシブルな[001]配向Pb(Zr0.52, Ti0.48)O3エピタキシャル薄膜の強誘電特性

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2021/07/01

タイトル(英語): Ferroelectric Properties of Flexible [001] Oriented Pb(Zr0.52, Ti0.48)O3 Epitaxial Thin Films

著者名: 水山　智文（近畿大学大学院生物理工学研究科），廣﨑　紀光（太洋工業（株）研究開発部），西川　博昭（近畿大学生物理工学部）

著者名(英語): Tomofumi Mizuyama (Graduate School of Biology-Oriented Science and Technology, Kindai University), Norimitsu Hirosaki (Taiyo Industrial Co., LTD.), Hiroaki Nishikawa (Faculty of Biology-Oriented Science and Technology, Kindai University)

キーワード: エピタキシャルPb(Zr0.52，Ti0.48)O3，フレキシブル薄膜，フレキシブルプリント基板，転写プロセス　　epitaxial Pb(Zr0.52，Ti0.48)O3，flexible thin film，flexible printed circuit，transfer process

要約(英語): We have aimed to apply epitaxial Pb(Zr0.52, Ti0.48)O3 (PZT) thin films of ferroelectric and piezoelectric properties to flexible and wearable ultrasonic devices. To realize the flexible epitaxial PZT thin films, PZT thin films were transferred onto flexible printed circuit (FPC) composed of flexible polyimide sheet and Cu electrodes. To adhere PZT thin films to Cu electrodes of FPC, we used copper foil double-coated conductive adhesive tape. Buffer layer of Pt (60 nm) between PZT thin film and adhesive tape was quite effective to avoid serious exfoliation and cracks on the transferred PZT thin film. Transferred epitaxial PZT thin films onto Cu electrodes of FPC showed good electrical contact to the Cu electrodes and P-E hysteresis of ferroelectric characteristics was successfully measured.

本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.141 No.7 （2021） 特集：電子材料関連技術の最近の進展

本誌掲載ページ: 782-783 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/141/7/141_782/_article/-char/ja/