加熱処理装置のための汎用均一温度制御技術

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2024/03/01

タイトル(英語): General-purpose Uniform Temperature Control for Heating Process System

著者名: 田中　雅人（アズビル（株））

著者名(英語): Masato Tanaka (Azbil Corporation)

キーワード: PID制御，均一温度，サプライチェーン　　PID control，uniform temperature，supply chain

要約(英語): In this paper, general-purpose uniform temperature control for heating process systems is described. The uniform temperature control function should be implemented to a local PID temperature controller. The controller is supplied to the heating process equipment manufacturer. In composition of the business, the adequacy of the relations between companies of the control technology is an important issue.

本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.144 No.3 （2024） 特集Ⅰ：スマートシステムと計測・制御技術　特集Ⅱ：シリコンならびにワイドバンドギャップパワー半導体の最新技術

本誌掲載ページ: 133-139 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/144/3/144_133/_article/-char/ja/