基板位置合わせにおける作業者の癖により生じる製造誤差のモデル化

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2024/10/01

タイトル(英語): Modeling of Fabrication Errors Caused by Operator Habits in Substrate Alignment Process

著者名: 三浦　篤志（(株) 豊田中央研究所），舟山　啓太（(株) 豊田中央研究所），後藤　智（(株) 豊田中央研究所），奥田　勝治（(株) 豊田中央研究所），田中　宏哉（(株) 豊田中央研究所）

著者名(英語): Atsushi Miura (Toyota Central R&D Labs., Inc.), Keita Funayama (Toyota Central R&D Labs., Inc.), Satoshi Gotoh (Toyota Central R&D Labs., Inc.), Katsuharu Okuda (Toyota Central R&D Labs., Inc.), Hiroya Tanaka (Toyota Central R&D Labs., Inc.)

キーワード: 基板，位置合わせ，誤差，モデル　　substrates，alignment，error，model

要約(英語): Substrate alignment is an important topic in the micro fabrication technology to guarantee the development of secure micro-structured devices. There often exists an alignment error due to operator habits in the alignment process. Here, we modeled such error with the normal distribution, and the suggested model was validated by means of QQ plots and Shapiro-Wilk test. In addition, we pointed that the error in the alignment process would be reduced via calibration with statistically extracted properties of the error model. Our investigation therefore contributes to secure devices developed with the micro fabrication technology.

本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.144 No.10 （2024） 特集：2023電気・電子・情報関係学会四国支部連合大会

本誌掲載ページ: 1022-1023 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/144/10/144_1022/_article/-char/ja/