ガルバノミラー式位置決めサーボ機構における動作モードを重畳させる目標軌道設計手法

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【D】産業応用部門

発行日: 2013/04/01

タイトル(英語): Reference Trajectory Design That Overlays Motion Modes of Laser-positioning Servomechanism of Galvanometric Mirrors

著者名: 松家　大介（（株）日立製作所），大槻　治明（（株）日立製作所），佐野　哲也（日立ビアメカニクス（株））

著者名(英語): Daisuke Matsuka (Hitachi, Ltd.), Haruaki Otsuki (Hitachi, Ltd.), Tetsuya Sano (Hitachi Via Mechanics, Ltd.)

キーワード: 高速高精度位置決め，ガルバノミラー，トレパニング加工法　　high speed and high precision control，galvanometric mirror，trepanning

要約(英語): This paper proposes an efficient control method for galvanometric mirrors that moves a laser beam to drill a sequence of holes that are larger than the beam size. This method is applicable to a microprocessor-based controller and reduces the drilling time. It combines point-to-point (PTP) motion between holes with continuous path (CP) motion at each hole, producing a reference trajectory in which the circular CP orbit is superimposed onto the PTP trajectory immediately after the movement between the holes starts. In the experiment, the proposed method reduces the process time by more than 10% without loss of precision. Experimental results confirm the effectiveness of the proposed method.

本誌: 電気学会論文誌D（産業応用部門誌） Vol.133 No.4 （2013）

本誌掲載ページ: 421-427 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejias/133/4/133_421/_article/-char/ja/