プラズマ生成用電源におけるプッシュプル型MOS-FETインバータの電力変換効率と損失電力

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【D】産業応用部門

発行日: 2016/08/01

タイトル(英語): Power Efficiency and Loss in Push-pull MOS-FET DC-to-RF Power Inverter for Plasma Generator

著者名: 杉本　一弘（芝浦工業大学大学院 理工学研究科／サンセイジェネリック（株）テクノロジーセンター），濱岡　淳二（サンセイジェネリック（株）テクノロジーセンター），奥野　雅之（サンセイジェネリック（株）テクノロジーセンター），迫　邦洋（サンセイジェネリック（株）テクノロジーセンター），本間　哲哉（芝浦工業大学大学院 理工学研究科）

著者名(英語): Kazuhiro Sugimoto (Functional Control System, Graduate School of Engineering and Science, Shibaura Institute of Technology/Corporate Technology Center, Sunsay Generic Co., Ltd.), Junji Hamaoka (Corporate Technology Center, Sunsay Generic Co., Ltd.), Masayuki Okuno (Corporate Technology Center, Sunsay Generic Co., Ltd.), Kunihiro Sako (Corporate Technology Center, Sunsay Generic Co., Ltd.), Tetsuya Homma (Functional Control System, Graduate School of Engineering and Science, Shibaura Institute of Technology)

キーワード: インバータ，MOS-FETアレイ，高周波，プッシュプル　　inverter，MOS-FET array，radio frequency，push-pull

要約(英語): This paper describes the power efficiency and losses in push-pull MOS-FET arrays in an inverter for a plasma generator. The inverter consists of parallel connected MOS-FETs and the output power transformer. The power losses within the MOS-FET arrays and output power transformer are estimated based on their thermal resistances, which were obtained separately by measurements. The drain efficiency was thus obtained from the DC input power, RF output power, and estimated power losses. The output power of the MOS-FET arrays was 1kW, with a drain efficiency of 79% and at 13.56MHz, when the DC voltage was 48V.

本誌: 電気学会論文誌D（産業応用部門誌） Vol.136 No.8 （2016）

本誌掲載ページ: 511-521 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejias/136/8/136_511/_article/-char/ja/