ミラーの倒れ応答を考慮したガルバノスキャナのためのフィードフォワード入力設計法

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【D】産業応用部門

発行日: 2016/11/01

タイトル(英語): Feedfoward Input Design Method for Galvano Scanner Considering Mirror Vibration in Inclined Direction Relative to the Rotation Axis

著者名: 上田　伸治（宇都宮大学 大学院 工学研究科），平田　光男（宇都宮大学 大学院 工学研究科）

著者名(英語): Shinji Ueda (Utsunomiya University), Mitsuo Hirata (Utsunomiya University)

キーワード: 高速高精度位置決め制御，フィードフォワード補償，ガルバノスキャナ，共振周波数変動　　high-speed and high-precision control，feedforward control，galvano scanner，resonance frequency perturbation

要約(英語): Galvano scanners are used as laser beam scanners in laser drilling machines. The mirror of the galvano scanner has vibration modes not only in a rotational direction but also in an inclined direction. Vibration in an inclined direction causes an error in the positioning of the laser spot in the direction perpendicular to the position. In multiple steps of motion, vibration is excited by an unbalanced moment of the mirror, thus degrading the positional accuracy. This paper proposes a feedforward input design method to reduce vibration in the inclined direction. The effectiveness of the proposed method is shown by simulation.

本誌: 電気学会論文誌D（産業応用部門誌） Vol.136 No.11 （2016）

本誌掲載ページ: 851-860 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejias/136/11/136_851/_article/-char/ja/