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大型超精密位置決めステージのモデルベースト制御技術

大型超精密位置決めステージのモデルベースト制御技術

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カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【D】産業応用部門

発行日: 2020/04/01

タイトル(英語): Model-based Control Techniques for Large-Scale High-Precision Stage

著者名: 大西 亘(東京大学大学院工学系研究科),藤本 博志(東京大学大学院工学系研究科),坂田 晃一((株)ニコン)

著者名(英語): Wataru Ohnishi (Graduate School of Engineering, The University of Tokyo), Hiroshi Fujimoto (Graduate School of Engineering, The University of Tokyo), Koichi Sakata (Nikon Corporation)

キーワード: モデルベース制御,精密位置決め制御,フィードフォワード制御,フィードバック制御,粗微動ステージ  model based control,precision motion control,feedforward control,feedback control,dual stage

要約(英語): High-precision positioning stages are an important apparatus in the semiconductor and flat panel industries. This paper reviews the model-based control techniques utilized in the feedback and feedforward control of the positioning control system. Multirate feedforward control with preactuation is an exact inversion of the discretized plant and it is effective for the reference tracking performance. Model-based feedback control using multiple sensors enhances the feedback bandwidth and improves the disturbance suppression performance. Additionally, this paper introduces new structures and control techniques achieving lightweight, high-thrust, and low disturbances.

本誌: 電気学会論文誌D(産業応用部門誌) Vol.140 No.4 (2020) 特集:2019年産業応用部門大会

本誌掲載ページ: 272-280 p

原稿種別: 論文/日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejias/140/4/140_272/_article/-char/ja/

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