電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.131 No.5 （2011）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2011/05/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.131 No.5 (2011)

著者リスト: Development of Carbonaceous Particle Size Analyzer Using Laser-induced Incandescence Technology：Satoshi Ikezawa，Muneaki Wakamatsu，Yury L'vovich Zimin，Joanna Pawlat，Toshitsugu Ueda 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ：畠山　庸平，江刺　正喜，田中　秀治 A Two-dimensional Anisotropic Wet Etching Simulator for Quartz Crystal：Meng Zhao，Jiani Wang，Hiroshi Oigawa，Jing Ji，Hisanori Hayashi，Toshitsugu Ueda 電気的接続を伴うLTCC基板とSi基板との陽極接合：松崎　栄，田中　秀治，江刺　正喜 Modeling and Experimental Analysis on the Nonlinearity of Single Crystal Silicon Cantilevered Microstructures：Yonggang Jiang，Masayoshi Esashi，Takahito Ono

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/131/5/_contents/-char/ja/