Siノズルを用いたSi微粒子のミスト吐出

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2011/06/01

タイトル(英語): Mist Ejection of Silicon Microparticle Using a Silicon Nozzle

著者名: 横山　吉典（BEANSプロジェクト　Macro BEANSセンター），村上　隆昭（BEANSプロジェクト　Macro BEANSセンター），吉田　幸久（BEANSプロジェクト　Macro BEANSセンター），伊藤　寿浩（BEANSプロジェクト　Macro BEANSセンター／独立行政法人　産業技術総合研究所）

著者名(英語): Yoshinori Yokoyama (Macro BEANS Center, BEANS Project), Takaaki Murakami (Macro BEANS Center, BEANS Project), Yukihisa Yoshida (Macro BEANS Center, BEANS Project), Toshihiro Itoh (Macro BEANS Center, BEANS Project/National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST))

キーワード: ミストジェット技術，超音波，Si微粒子　　Mist-jet technology，Ultrasonic wave，Silicon microparticle

要約(英語): The novel mist-jet technology using a silicon nozzle and a silicon reflector has been developed. Ejection of water mist containing the silicon microparticles is demonstrated. Impurities of the silicon microparticles ejected on the substrate are analyzed. It has been verified for the first time that the contamination is reduced by the silicon head. The silicon pattern drawn by the head is successfully formed.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.131 No.6 （2011） 特集：農業センサシステム

本誌掲載ページ: 230-234 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/131/6/131_6_230/_article/-char/ja/