電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.131 No.7 （2011）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2011/07/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.131 No.7 (2011)

著者リスト: ・Buckling Control of Silicon Dioxide Diaphragms for Sensitivity Enhancement of Piezoelectric Ultrasonic Microsensors：Kaoru Yamashita，Tomoya Yoshizaki，Minoru Noda，Masanori Okuyama ・スライドプレス型リールツーリール熱インプリントシステムの開発：大友　明宏，銘苅　春隆，高木　秀樹，小久保　光典，後藤　博史 ・オールドライプロセスによるMEMS薄膜ヒータの作製とガスセンサへの応用：山寺　秀哉，杉本　憲昭，景山　恭行 ・チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術：辻本　和也，平井　義和，菅野　公二，土屋　智由，田畑　修 ・Nanostrain Sensing Based on Piezo-Optic Property of a Photonic Crystal Cavity：Bui Thanh Tung，Dzung Viet Dao，Susumu Sugiyama ・赤外線吸収式マルチガスセンサ：榎本　哲也，鈴木　愛美，岩城　隆雄，和戸　弘幸，竹内　幸裕 ・Design Issues for Piezoresistive Nanocantilever Sensors with Non-uniform Nanoscale Doping Profiles：Yonggang Jiang，Masayoshi Esashi，Takahito Ono

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/131/7/_contents/-char/ja/