LSI上に一体集積した3次元マイクロコイル発振器

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2011/10/01

タイトル(英語): Three-Dimensional Micro-Coil Oscillator Fabricated with Monolithic Process on LSI

著者名: 矢部 友崇（パイオニア（株）），三村 泰弘（パイオニア（株）），高橋 宏和（パイオニア（株）），尾上 篤（パイオニア（株）），室賀 翔（東北大学大学院工学研究科），山口 正洋（東北大学大学院工学研究科），小野 崇人（東北大学大学院工学研究科），江刺 正喜（東北大学原子分子材料科学高等研究機構）

著者名(英語): Tomotaka Yabe (PIONEER CORPORATION), Yasuhiro Mimura (PIONEER CORPORATION), Hirokazu Takahashi (PIONEER CORPORATION), Atsushi Onoe (PIONEER CORPORATION), Sho Muroga (Graduate School of Engineering, Tohoku University), Masahiro Yamaguchi (Graduate School of Engineering, Tohoku University), Takahito Ono (Graduate School of Engineering, Tohoku University), Masayoshi Esashi (The World Premier International Research Center Advanced Institute for Materials Research (WPI-AIMR), Tohoku University)

キーワード: MEMS コイル，一体集積　　MEMS micro coil，monolithic technique

要約(英語): Integration technique of three-dimensional micro coils on high-performance RF-LSI is one of the key technologies to realize future wireless telecommunication services and hypersensitive capacitance sensor systems. We design and fabricate monolithic three-dimensional micro coils on LSI substrate. The micro-coil has long legs, which will minimize electromagnetic coupling to the LSI substrate. We succeed in confirming the basic operation of the integrated oscillator circuit in GHz frequency range. It is conformed that process damages by plasma ashing, heating at 200 degrees Celsius, and sputter etching process are not observed in the oscillation performance.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.131 No.10 （2011） 特集：集積化センサとその設計・製作

本誌掲載ページ: 363-368 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/131/10/131_10_363/_article/-char/ja/