電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.131 No.11 （2011）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2011/11/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.131 No.11 (2011)

著者リスト: ・電解メッキによる金属微細針の作製と電解エッチングによる先鋭化：黄 志濠，田中 隆寛，高沖 穣，泉 隼人，高橋 智一，鈴木 昌人，青柳 誠司 ・高速レーザビーム走査型管路検査装置におけるレーザパワー制御：小川 茂樹，桑野 博喜 ・流体MEMSキャパシタの高周波透過特性の時間変化：石田 勝通，古塚 岐，鈴木 健一郎 ・サブミクロン狭ギャップをもつシャント型MEMSスイッチの開発：山本 翔司，前江田 和也，鈴木 健一郎 ・ASK変調を利用した非接触式漏油センサーの技術開発：須貝 保徳，原 潤海，井上 彬，橋田 修吉

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/131/11/_contents/-char/ja/