電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.1 （2012）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/01/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.132 No.1 (2012)

著者リスト: ・An Equivalent Circuit Model for Vertical Comb Drive MEMS Optical Scanner Controlled by Pulse Width Modulation：Satoshi Maruyama，Muneki Nakada，Makoto Mita，Takuya Takahashi，Hiroyuki Fujita，Hiroshi Toshiyoshi ・PFAフィルムを積層したエレクトレットコンデンサマイクロホンの作製と特性評価：蔭山 健介，長島 秀明 ・シーケンシャルロービングと2周波CW方式の組み合わせによる横方向移動検出可能なマイクロ波センサ：辻　正敏 ・長大鋼構造物の接地時における分布定数の計測：大平 尚，芹川 聖一

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/132/1/_contents/-char/ja/