Ag 合金ミラーを用いた可視光広帯域 MEMS ファブリ・ペローチューナブルフィルタ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/02/01

タイトル(英語): Wideband Visible Wavelength Range MEMS Fabry-Perot Tunable Filter with Ag Alloy Mirror

著者名: 廣久保 望（セイコーエプソン（株）／信州大学大学院総合工学系研究科），小松 洋（セイコーエプソン（株）），橋元 伸晃（セイコーエプソン（株）），曽根原 誠（信州大学工学部），佐藤 敏郎（信州大学工学部）

著者名(英語): Nozomu Hirokubo (Seiko Epson Corporation/Interdisciplinary Graduate School of Science and Technology, Shinshu University), Hiroshi Komatsu (Seiko Epson Corporation), Nobuaki Hashimoto (Seiko Epson Corporation), Makoto Sonehara (Faculty of Engineering, Shinshu University), Toshiro Sato (Faculty of Engineering, Shinshu University)

キーワード: ファブリ・ペロー，銀，可視光，広帯域，可変　　Fabry-Perot，Ag，Visible，Wideband，Tunable

要約(英語): In this paper, we report the structure and the fabrication process of the new Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) Fabry-Perot Tunable Filter (FPTF) device with Ag alloy mirror which is tunable in the wide wavelength range of visible light. The device has very simple structure, which consists of two substrates that are bonded by using novel bonding technology, polymer films, and inert gas plasma treatments. We confirmed that the wavelength of the 1st order transmission peak of fabricated device can be adjusted to a 400-700nm range by applying the different DC voltage. Our MEMS FPTF device successfully operates in the wide wavelength range of visible light, shows good agreement with simulation result.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.2 （2012） 特集：第28 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集

本誌掲載ページ: 25-30 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/2/132_2_25/_article/-char/ja/