非冷却赤外線アレイセンサ用マイクロレンズ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/02/01

タイトル(英語): Microlens for Uncooled Infrared Array Sensor

著者名: 山崎 陵（立命館大学），尾花 陽光（元立命館大学），木股 雅章（立命館大学）

著者名(英語): Ryo Yamazaki (Ritsumeikan University), Akimitsu Obana(Former Ritsumeikan University), Masafumi Kimata (Ritsumeikan University)

キーワード: 赤外線センサ，非冷却，マイクロレンズ，グレースケールリソグラフィ，エッチバック　　infrared sensor，uncooled，microlens，gray scale lithography，etch back

要約(英語): This paper describes the design and fabrication of a microlens for the sensitivity improvement of uncooled infrared array sensors. We improved the sensitivity by collecting infrared rays to detectors. The microlens is made of silicon, which is a typical substrate for MEMS technology. We fabricated it by photolithography technology using a gray scale mask and an etch-back process by selectivity-controlled dry etching. This process enables us to fabricate a 43-μm-high silicon microlens from only a 2- to 3-μm-high photoresist structure. To confirm the usefulness of the microlens, we developed a small infrared array sensor with microlens. The results show that the sensitivity improvement with the microlens is 4.2 times. Microlens is one promising technology for sensitivity improvement.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.2 （2012） 特集：第28 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集

本誌掲載ページ: 42-47 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/2/132_2_42/_article/-char/ja/