電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.3 （2012）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/03/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.132 No.3 (2012)

著者リスト: ・大気圧プラズマ化学輸送法を用いて作製したシリコン膜の特性評価：内藤 皓貴，横山 吉典，紺野 伸顕，徳永 隆志，伊藤 寿浩 ・大気中で動作する赤外線センサ画素の熱設計：塩川 裕也，仲野 達也，前田 直樹，木股 雅章，高畑 晶弘 ・ツリガネムシの繊毛運動を用いたマイクロミキサの流れ場解析：早坂 陽，永井 萌土，松本 伸賢，川島 貴弘，柴田 隆行 ・分岐型サスペンション構造への運動方程式等価回路モデルの応用：三田 信，丸山 智史，藤田 博之，年吉 洋

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/132/3/_contents/-char/ja/