電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.4 （2012）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/04/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.132 No.4 (2012)

著者リスト: ・マイクロカンチレバーアレイを用いたフレキシブルデバイス用接点構造の特性評価：山下 崇博，Khumpuang Sommawan，三宅 晃司，伊藤 寿浩 ・高周波MEMSのためのルテニウム微小電極パターンの作製法：松村 武，江刺 正喜，原田 博司，田中 秀治 ・準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル：丸山 智史，三田 信，諫本 圭史，鄭 昌鎬，藤田 博之，年吉 洋 ・マイクロポンプ-センサ一体集積化デバイスの試作：坂本 憲児，石野 祥太郎，宮原 裕二，三宅 亮 ・ナノインプリントを用いた金属埋め込みポリマー微細周期構造体の作製：小粥 教幸，杉村 竜，瀧口 義浩

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/132/4/_contents/-char/ja/