電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.5 （2012）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/05/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.132 No.5 (2012)

著者リスト: ・宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ：三田　信，安宅　学，藤田　博之，年吉　洋 ・U字形及びI字形のSOI-MUMPsによる片持ち梁構成の熱式マイクロアクチュエータ：長田　貴裕，落合　邦行，長田　和樹，室　英夫 ・誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング：片岡　達哉，平井　義和，菅野　公二，土屋　智由，田畑　修 ・MEMSのための両面SiC PECVD装置の開発：鈴木　康久，田中　秀治，畠山　庸平，江刺　正喜 ・Infrared Collecting Lens Having Millimeter-size Diameter Integrated with Si Photo Cell：Takuro Aonuma，Shinya Kumagai，Minoru Sasaki ・分割型補助電極を有するSi共振子の静電チューニング用テスト素子：飯高　俊哉，水口　和彦，室　英夫 ・射出成形を用いた接合型中空マイクロニードルアレイの作製及び穿刺特性評価：小粥　教幸，杉村　竜，田丸　卓也，瀧口　義浩 ・Feasible Study for Multi-photon Stereolithography Method of Electro Conductive Polymer Actuator with Complex Shape：Junji Sone，Akihisa Asami，Katsumi Yamada，Jun Chen

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/132/5/_contents/-char/ja/