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ホール素子特性における応力依存性の検討

ホール素子特性における応力依存性の検討

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カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/07/01

タイトル(英語): Study on Dependence of Stress on the Hall Element Characteristics

著者名: 庄司 真弘(千葉工業大学),浜島 美央(TDK(株)),室 英夫(千葉工業大学)

著者名(英語): Masahiro Shoji (Chiba Institute of Technology), Mio Hamashima (TDK Corporation), Hideo Muro (Chiba Institute of Technology)

キーワード: ホール素子,応力,テストデバイス,片持ち梁  Hall element,stress,test device,cantilever

要約(英語): Test devices for evaluating the stress effect on Hall element have been designed and fabricated using a simple SOI-MEMS process, where a Hall element is incorporated onto a micromachined cantilever together with floating electrodes connecting the input/output terminals of the Hall element. The predetermined stress was applied by pushing down the tip of the cantilever using a stimulus attached to the XYZ manipulator. The test devices of <110> and <100> directions were measured, whose magnetic sensitivities were increased by 6.5% and 12%, respectively, by applying the stress of 218 MPa. These experimental results agreed reasonably with the calculated values using a simple model.

本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.132 No.7 (2012)

本誌掲載ページ: 178-182 p

原稿種別: 論文/日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/7/132_178/_article/-char/ja/

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