片持ち梁構成のFePd/PZT積層型の高感度磁気センサの検討

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/07/01

タイトル(英語): A Study on Cantilever-Type FePd/PZT Stacked-Layer Magnetic Sensor with High Sensitivity

著者名: 齊藤　崇（千葉工業大学），浜島　美央（TDK（株）），斉藤　千尋（並木精密宝石（株）），中村　元一（並木精密宝石（株）），岡崎　禎子（弘前大学），古屋　泰文（弘前大学），室　英夫（千葉工業大学）

著者名(英語): Takashi Saito (Chiba Institute of Technology), Mio Hamashima (TDK Corporation), Chihiro Saito (NAMIKI PRECISION JEWEL CO., LTD.), Motoichi Nakamura (NAMIKI PRECISION JEWEL CO., LTD.), Teiko Okazaki (Hirosaki University), Yasubumi Furuya (Hirosaki University), Hideo Muro (Chiba Institute of Technology)

キーワード: 磁気センサ，磁歪，圧電，積層　　magnetic sensor，magnetostrictive，piezoelectric，stacked layer

要約(英語): The FePd/PZT/FePd and the FePd/PZT stacked-layer magnetic sensors were studied. A magnetic field was applied to the longitudinal direction of the sensor to cause a longitudinal stress magnetostrictively, which produces a piezoelectric output voltage in the PZT layer. The prototype sensors are 15 mm long and 6 mm wide and the thicknesses of the FePd layer and PZT layer are 10 µm and 330 µm, respectively. The theoretical sensitivities of the FePd/PZT/FePd sensor and the FePd/PZT sensor using a simple cantilever model were calculated to be 0.29 mV/A/m and 0.15 mV/A/m, respectively. The measured sensitivities agreed reasonably with the calculated ones.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.7 （2012）

本誌掲載ページ: 183-188 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/7/132_183/_article/-char/ja/