電気回路シミュレータを用いたMEMS電圧-周波数変換器のシミュレーション
電気回路シミュレータを用いたMEMS電圧-周波数変換器のシミュレーション
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門
発行日: 2012/07/01
タイトル(英語): A Simulation of MEMS Voltage-Frequency Convertor with Electronic Circuit Simulator
著者名: 三田 信(宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研究所),丸山 智史(東京大学 先端科学技術研究センター),安宅 学(東京大学 生産技術研究所),年吉 洋(東京大学 先端科学技術研究センター)
著者名(英語): Makoto Mita (Institute of Space and Astronautical Science, The Japan Aerospace Exploration Agency), Satoshi Maruyama (Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo), Manabu Ataka (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo), Hiroshi Toshiyoshi (Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo)
キーワード: シミュレーション,電圧-周波数変換,電圧制御発振器 simulation,voltage-frequency convertor,voltage controlled oscillator
要約(英語): An electrostatic micro actuator with an electrical contact between the electrodes is known to show a limit-cycle behavior due to the combination of electrostatic pull-in and release. We newly used an electrical circuit simulator to make an equivalent circuit model to reproduce the limit-cycle by multi-physics simulation. This simulation results were found to explain the experimenntally observed behavior of the developedMEMS voltage to frequency convertor (VFC).
本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.132 No.7 (2012)
本誌掲載ページ: 189-194 p
原稿種別: 論文/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/7/132_189/_article/-char/ja/
受取状況を読み込めませんでした
