電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.9 （2012）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/09/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.132 No.9 (2012)

著者リスト: ・高速MEMSスキャナを用いた第三世代SS-OCT用波長走査型光源：諫本　圭史，戸塚　弘毅，酒井　徹，鈴木　卓也，両澤　淳，鄭　昌鎬，藤田　博之，年吉　洋 ・高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ―物理モデルを用いた設計と試作によるその検証―：畠山　庸平，江刺　正喜，田中　秀治 ・弾性表面波デバイスを用いた匂い濃縮素子の研究：横式　康史，中本　高道 ・Optimization of Electrode Structure for a High-Frequency AT-cut Quartz Resonator Using FEM：Jing Ji，Hiroshi Oigawa，Hsin Hui Chen，Meng Zhao，Toshitsugu Ueda ・RF-MEMSスイッチのための低電圧駆動薄膜PZT積層アクチュエータ：森山　雅昭，川合　祐輔，田中　秀治，江刺　正喜 ・MEMS-LSI集積化デバイスを用いた触覚センサネットワークシステム開発のための模擬ネットワークシステムの試作：中野　芳宏，室山　真徳，巻幡　光俊，田中　秀治，松崎　栄，山田　整，中山　貴裕，山口　宇唯，野々村　裕，藤吉　基弘，江刺　正喜 ・ダンピング効果を利用したメカニカル変位変換型Z軸加速度センサによる衝突速度検出の改善：平田　善明，紺野　伸顕，伊藤　恭彦，平岡　裕二，末次　英治 ・凹面基板上の三次元マイクロパターニングおよび，円柱形ポリマースタンプ製作への応用：朴　鍾淏，高間　信行，藤田　博之，金　範埈 ・無機エレクトレットを用いた電荷蓄積型シリコンマイクロホン：後藤　正英，萩原　啓，田島　利文，安野　功修，児玉　秀和，樹所　賢一，井口　義則 ・低電圧CMOSインバータ型差動増幅回路の特性評価：堀下　祐輔，松本　佳宣 ・生体適合性を有するフレキシブルひずみセンサの開発：濱田　浩幸，神田　健介，高尾　英邦，藤田　孝之，樋口　行平，前中　一介 ・加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験：上杉　晃生，平井　義和，菅野　公二，土屋　智由，田畑　修

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/132/9/_contents/-char/ja/