電磁誘導によるMEMSアクチュエータの動作モニタ
電磁誘導によるMEMSアクチュエータの動作モニタ
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門
発行日: 2013/01/01
タイトル(英語): Motion Monitoring of MEMS Actuator with Electromagnetic Induction
著者名: 渡部 善幸(山形県工業技術センター),小林 誠也(山形県工業技術センター),岩松 新之輔(山形県工業技術センター),矢作 徹(山形県工業技術センター),佐藤 勝裕(ミツミ電機(株)山形事業所),大泉 則一(ミツミ電機(株)山形事業所)
著者名(英語): Yoshiyuki Watanabe (Yamagata Research Institute of Technology), Seiya Kobayashi (Yamagata Research Institute of Technology), Shinnosuke Iwamatsu (Yamagata Research Institute of Technology), Toru Yahagi (Yamagata Research Institute of Technology), Masahiro Sato (Mitsumi Electric Co., Ltd.), Norikazu Oizumi (Mitsumi Electric Co., Ltd.)
キーワード: 電磁駆動,電磁誘導,動作モニタ,MEMSアクチュエータ,MEMSミラー Electromagnetic driving,Electromagnetic induction,Motion monitoring,MEMS actuator,MEMS mirror
要約(英語): Previously, we have reported electromagnetically driven 2-axis tilting MEMS mirror, 2-axis tilting grating and 3-axis movable MEMS mirror (2-axis tilting and 1-axis vibration). These devices can be easily actuated by electromagnetic force induced by magnetic potential gradient between planar coils and the magnet. However, this opened loop system can not realize its precise motion control, because of the characteristic deviation of each device, aged deterioration and thermal behavior. This report describes motion monitoring of MEMS actuators with electromagnetic induction for precise motion control. We have confirmed that the theory of motion sensing, we have constructed, agreed with experimental results approximately.
本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.133 No.1 (2013)
本誌掲載ページ: 26-30 p
原稿種別: 論文/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/1/133_26/_article/-char/ja/
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