Auメッキ層及び台形型ビームを用いたMEMS熱式マイクロ・アクチュエータの検討

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2013/04/01

タイトル(英語): Study on MEMS Thermal Microactuators with Pedestal-Type Beam Shape and Au Electroplating

著者名: 落合　邦行（千葉工業大学），長田　貴裕（（株）ローレル），室　英夫（千葉工業大学）

著者名(英語): Kuniyuki Ochiai (Chiba Institute of Technology), Takahiro Osada (LAUREL, LTD), Hideo Muro (Chiba Institute of Technology)

キーワード: マイクロ・アクチュエータ，熱式，Auメッキ層　　Microactuators，Thermal，Au Electroplated Layers

要約(英語): Recently, the micro fluid systems have been extensively studied, where microactuators such as micro valves fabricated by MEMS technology are essential for realizing these systems. In this paper thermal microactuators of trapezoidal shape fabricated by SOI-MUMPs technology with and without Au electroplating layers have been studied for obtaining larger displacement.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.133 No.4 （2013）

本誌掲載ページ: 100-104 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/4/133_100/_article/-char/ja/