ステンレスを基材とするZnO振動型エナジーハーベスタの開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2013/04/01

タイトル(英語): Vibration based Energy Harvester Employing ZnO Film on the Stainless Steel Substrate

著者名: 細川　翔多（東北大学大学院　工学研究科　ナノメカニクス専攻），原　基揚（東北大学大学院　工学研究科　ナノメカニクス専攻），大口　裕之（東北大学大学院　工学研究科　ナノメカニクス専攻），桑野　博喜（東北大学大学院　工学研究科　ナノメカニクス専攻）

著者名(英語): Shota Hosokawa (Department of Nanomechanics, Graduate school of Engineering, Tohoku University), Motoaki Hara (Department of Nanomechanics, Graduate school of Engineering, Tohoku University), Hiroyuki Oguchi (Department of Nanomechanics, Graduate school of Engineering, Tohoku University), Hiroki Kuwano (Department of Nanomechanics, Graduate school of Engineering, Tohoku University)

キーワード: エナジーハーベスタ，酸化亜鉛，ステンレス　　energy harvester，ZnO，stainless

要約(英語): We developed the energy harvester employing piezoelectric zinc oxide (ZnO) thin film for application to large vibrational amplitude. To ensure the fracture toughness, stainless steel (SUS304) was employed as a substrate. Also, to prevent the electrical breakdown due to the pinholes in the ZnO film, conformal silicon oxide (SiO2) layer was inserted between the ZnO film and top electrode. By inserting the SiO2 layer, power efficiency was much enhanced. As a result, a generated power of 150nW was obtained when acceleration and load resistance were 0.7m/s2 and 670kΩ, respectively.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.133 No.4 （2013）

本誌掲載ページ: 126-127 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/4/133_126/_article/-char/ja/