多層塗布による高精度厚膜スプレーコート法の開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2013/05/01

タイトル(英語): Development of High Accuracy Spray Coating Method using Multi-layer Coat

著者名: 赤松　幹夫（香川大学　工学部），寺尾　京平（香川大学　工学部），高尾　英邦（香川大学　工学部），下川　房男（香川大学　工学部），大平　文和（香川大学　工学部），鈴木　孝明（香川大学　工学部）

著者名(英語): Mikio Akamatsu (Faculty of Engineering, Kagawa University), Kyohei Terao (Faculty of Engineering, Kagawa University), Hidekuni Takao (Faculty of Engineering, Kagawa University), Fusao Simokawa (Faculty of Engineering, Kagawa University), Fumikazu Oohira (Faculty of Engineering, Kagawa University), Takaaki Suzuki (Faculty of Engineering, Kagawa University)

キーワード: スプレーコート，フォトレジスト，SU-8，多層塗布　　spray coat，photoresist，SU-8，multi-layered coating

要約(英語): In this paper, we propose a high-accuracy spray coating method for obtaining the thick photoresist over 200μm. A multi-layered coating method with thin photoresist layers is applied in order to achieve a thick photoresist. We evaluated the waviness and the reproducibility of the thickness of the photoresist coated on a flat substrate. The multi-layered spray coating method with the edge cover achieves high accuracy thickness of the photoresist with covering wide-range of the target thickness.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.133 No.5 （2013） 特集：第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集

本誌掲載ページ: 170-176 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/5/133_170/_article/-char/ja/