マイクロマシン技術を用いた小型光学式マルチガスセンサ [ I ]－超厚膜樹脂を用いた高精度なマイクロ光学ベンチの製作－

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2013/06/01

タイトル(英語): Compact Optical Multi-gas Sensors using Micromachining Technology [ I ]―Fabrication of High-precision Micro-optical Bench using Ultra-thick Film Resin―

著者名: 伊藤　将寛（香川大学），武田　知也（香川大学），鈴木　孝明（香川大学），高尾　英邦（香川大学），大平　文和（香川大学），下川　房男（香川大学），筒井　靖之（アオイ電子（株）），林　宏樹（アオイ電子（株）），今野　隆（アオイ電子（株）），朝日　一平（四国総合研究所），杉本　幸代（四国総合研究所），二宮　英樹（四国総合研究所）

著者名(英語): Masahiro Ito (Kagawa University), Tomoya Takeda (Kagawa University), Takaaki Suzuki (Kagawa University), Hidekuni Takao (Kagawa University), Fumikazu Oohira (Kagawa University), Fusao Shimokawa (Kagawa University), Yasuyuki Tsutsui (Aoi Electronics), Hiroki Hayashi (Aoi Electronics), Takashi Konno (Aoi Electronics), Ippei Asahi (Shikoku Research Institute), Sachiyo Sugimoto (Shikoku Research Institute), Hideki Ninomiya (Shikoku Research Institute)

キーワード: マイクロマシン技術，マルチガスセンサ，マイクロ光学ベンチ，超厚膜樹脂，小型化　　Micromachining technology，Multi-gas sensor，Micro-optical bench，Ultra-thick film resin，Miniaturization

要約(英語): In order to realize the miniaturization of the optical gas sensors by the passive alignment of optical components, we proposed a micro-optical bench which consists of a guiding groove and a micro-mirror with an ultra-thick resin structure. We fabricated the micro-optical bench with an ultra-thick resin structure of 2 mm height and processing accuracy of within ±10 μm. By using this micro-optical bench, compact optical multi-gas sensors (size: 3 cm×3 cm) by the passive alignment through a guiding groove for a ball lens and a fiber ferrule were realized.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.133 No.6 （2013） 特集：匂い・香りのセンシングおよび再現技術の新展開

本誌掲載ページ: 237-242 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/6/133_237/_article/-char/ja/