温度画像のための遠赤外線用フレネルレンズ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2013/07/01

タイトル(英語): Far-Infrared Fresnel Lens for Thermal Imaging

著者名: 高畑　智之（東京大学），松本　潔（東京大学），下山　勲（東京大学）

著者名(英語): Tomoyuki Takahata (The University of Tokyo), Kiyoshi Matsumoto (The University of Tokyo), Isao Shimoyama (The University of Tokyo)

キーワード: サーモグラフィ，シリコン三次元加工，シリコンレンズ　　thermography，silicon 3D fabrication，silicon lens

要約(英語): We propose that thin and light-weighted silicon Fresnel lenses is suit for thermal imaging. We adopted a one-mask process with photolithography and inductive coupled plasma reactive ion etching (ICP-RIE) to fabricate silicon three-dimensional structure. Thermal image was taken with a Fresnel lens, which we designed with ray-trace method and fabricated with the three-dimensional (3D) fabrication process. Thermal cameras have been expensive because germanium lenses are difficult to be machined. Since the 3D fabrication process suits mass production compared with other method like multi-level lithography, competitive-price FIR optical systems can be realized.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.133 No.7 （2013）

本誌掲載ページ: 274-279 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/7/133_274/_article/-char/ja/