薄膜形状記憶合金のハイスループット評価法

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2013/08/01

タイトル(英語): High-Throughput Characterization of Thin Film Shape Memory Alloys

著者名: 青野　祐子（東京工業大学大学院 理工学研究科 機械物理工学専攻），川口　龍太郎（東京工業大学 大学院 総合理工学研究科 メカノマイクロ工学専攻），桜井　淳平（東京エレクトロン（株）），秦　誠一（名古屋大学大学院 工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻）

著者名(英語): Yuko Aono (Tokyo Institute of Technology), Ryutaro Kawaguchi (Tokyo Institute of Technology), Junpei Sakurai (Tokyo Electron Ltd.), Seiichi Hata (Nagoya University)

キーワード: 薄膜形状記憶合金，コンビナトリアル手法，ハイスループット評価　　thin film shape memory alloys，combinatorial technique，high-throughput characterization

要約(英語): Thin film shape memory alloys (SMAs) are promising materials for micro-machines because of their high-output power, large strain, and actuation without high voltage. To search for compositions of suitable thin film SMAs for each application, combinatorial technique is useful tool, however the technique requires high-throughput characterization method for thermal property which is an important property of thin film SMAs such as two way martensitic transformation temperature and thermal hysteresis. In this paper, novel high-throughput characterization method for such properties using thermography is proposed and demonstrated. Compositionally integrated thin film SMA samples (TiNiPd) with only 1mm2 of each area are characterized at once. The difference of martensitic and reverse martensitic transformation temperature against those temperatures measured by a conventional method, differential scanning calorimetry, is about 5K.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.133 No.8 （2013） 特集：センサ・マイクロマシン用材料とその創成・評価技術

本誌掲載ページ: 348-353 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/8/133_348/_article/-char/ja/