量子井戸型InAsホール素子による高感度リニアハイブリッドホールIC

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2013/10/01

タイトル(英語): High Sensitivity InAs DQW Linear Hybrid Hall ICs with InAs Deep Quantum Well Hall Elements

著者名: 柴崎　一郎（豊橋技術科学大学／公益財団法人 野口研究所），栗山　憲冶（旭化成エレクトロニクス（株）），牧野　崇史（旭化成エレクトロニクス（株）），深澤　尚也（旭化成エレクトロニクス（株）），鈴木　健治（旭化成エレクトロニクス（株））

著者名(英語): Ichiro Shibasaki (Toyohashi Institute of Technology/The Noguchi Institute), Kenji Kuriyama (Asahikasei Electronics Corporation), Takashi Makino (Asahikasei Electronics Corporation), Naoya Hukasawa (Asahikasei Electronics Corporation), Kenji Suzuki (Asahikasei Electronics Corporation)

キーワード: ホール素子，リニアハイブリッドホールIC，電流センサ，磁気センサ，非接触センサ　　Hall element，linear hybrid Hall IC，current sensor，magnetic sensor，contactless sensor

要約(英語): By electrically connecting and placing an InAs deep quantum well (DQW) Hall element as a magnetic sensor chip and a Si IC linear amplifier in a small plastic package, a very small sized InAs DQW linear hybrid Hall IC (InAs DQW LHHIC) with a high magnetic field sensitivity was developed. The output voltage of the hybrid Hall IC showed a very small temperature coefficient of 0.02%/℃ and the response time was very small at less than 3μsec. By using this InAs DQW LHHIC, practical current sensors having high sensitivity, high accuracy, and temperature stability were developed.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.133 No.10 （2013） 特集：エネルギーの創出・活用に関わるセンシング

本誌掲載ページ: 301-306 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/10/133_301/_article/-char/ja/