剥離性基板上へのPZT薄膜作製とその密着特性

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2013/11/01

タイトル(英語): Fabrication of PZT Thin Film on a Detachable Board and Its Adhesion Property

著者名: 本多　史明（東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻），細野　智史（東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻），末重　良宝（東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻），藤野　真久（東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻），須賀　唯知（東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻），一木　正聡（（独）産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター），伊藤　寿浩（（独）産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター）

著者名(英語): Fumiaki Honda (School of Engineering, The University of Tokyo), Toshifumi Hosono (School of Engineering, The University of Tokyo), Kazutaka Sueshige (School of Engineering, The University of Tokyo), Masahisa Fujino (School of Engineering, The University of Tokyo), Tadatomo Suga (School of Engineering, The University of Tokyo), Masaaki Ichiki (Research center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)), Toshihiro Ito (Research center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST))

キーワード: PZT，強誘電体薄膜，ナノトランスファー法，密着，拡散　　PZT，ferroelectric thin film，Nano-transfer method，adhesion，diffusion

要約(英語): PZT (Pb(Zrx,Ti1-x)O3) thin film capacitors using Nano-transfer method has been developed for the fabrication technology of smaller capacitors. The adhesion strength of Pt to SiO2 was shown to be important among process factors. The adhesion force was shown to be originated from the material diffusion in the crystallization process mainly by the observation of TEM and XPS analysis. In this paper, diffusion of ingredients of PZT which is supposed to be one of the factors of the variation was investigated. It was confirmed that diffusion of Pb certainly occurs and this diffusion reinforces the adhesion strength in accordance with the Pt thickness. It is concluded that the diffusion is surely one of the factors of the variation of the adhesion strength.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.133 No.11 （2013）

本誌掲載ページ: B320-B325 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/11/133_320/_article/-char/ja/