役に立つMEMSに向けて

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/01/01

タイトル(英語): Toward Practically Applicable MEMS

著者名: 江刺　正喜（東北大学 原子分子材料科学高等研究機構）

著者名(英語): Masayoshi Esashi (The World Premier International Research Center Advanced Institute for Materials Research, Tohoku University)

キーワード: 微小電気機械システム，マイクロシステム，センサ，ヘテロ集積化，オープンコラボレーション　　MEMS，microsystem，sensor，hetero integration，open collaboration

要約(英語): MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) play important roles as key components in systems. However it is not easy to be applied in market because these require heterogeneous knowledge and expensive facilities. Training of MEMS engineers who have practical experiences, accumulation and its exploitation of experiences and sharing of facilities are required for MEMS to be used in a market. Technical approaches for the practically applicable MEMS as hetero integration with circuit and packaging are described.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.1 （2014）

本誌掲載ページ: 2023/01/06 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/1/134_1/_article/-char/ja/