電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.4 （2014）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/04/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.134 No.4 (2014)

著者リスト: ・Fabrication of Narrow-gapped Dual Si AFM Tips by Mechanically Polishing-back for Selective Trench Sidewalls Protection：Kenta Kawashima，Eiji Makino，Takashi Mineta ・一対の熱式マイクロ・アクチュエータによる交互駆動光マイクロスキャナ：齊藤　修太郎，室　英夫 ・内部応力を利用したPZT薄膜キャパシタの剥離技術：末重　良宝，本多　史明，須賀　唯知，一木　正聡，伊藤　寿浩 ・SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針と磁歪膜積層デュアルカンチレバーの作製：川島　健太，峯田　貴，牧野　英司，川島　貴弘，柴田　隆行 ・デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム微細加工：山田　周史，人母　岳，寒川　雅之，安部　隆

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/134/4/_contents/-char/ja/