Cr-Nひずみゲージ薄膜を用いた荷重ベクトルセンサとその応用

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/06/01

タイトル(英語): Load Vector Sensors using Strain Sensitive Cr-N Thin Films and Their Application

著者名: 丹羽　英二（（公財）電磁材料研究所），白川　究（（公財）電磁材料研究所），新行内　成晃（日本電産コパル電子（株）），熊　四輩（日本電産コパル電子（株）），中原　健司（タカノ（株）），伊東　孝道（タカノ（株）），佐々木　祥弘（（公財）電磁材料研究所）

著者名(英語): Eiji Niwa (Research Institute for Electromagnetic Materials), Kiwamu Shirakawa (Research Institute for Electromagnetic Materials), Shigeaki Shingyochi (NIDEC COPAL ELECTRONICS CORP.), Sibei Xiong (NIDEC COPAL ELECTRONICS CORP.), Kenji Nakahara (TAKANO CO., LTD.), Takamichi Ito (TAKANO CO., LTD.), Yoshihiro Sasaki (Research Institute for Electromagnetic Materials)

キーワード: Cr-N薄膜，ひずみゲージ，力センサ　　Cr-N thin film，strain gauge，force sensor

要約(英語): A Cr-N thin film shows a gauge factor of about 16 and a temperature coefficient of resistivity (TCR) of about zero, which is expected as a new strain gauge material in the next generation. In this paper, the fabrication and characterization of a single module system of the load vector sensor using the Cr-N strain sensitive thin films, which can be applied for a sole sensor, are reported.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.6 （2014） 特集：第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集

本誌掲載ページ: 132-139 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/6/134_132/_article/-char/ja/