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位置検出機能を内蔵した超小型慣性駆動アクチュエータ

位置検出機能を内蔵した超小型慣性駆動アクチュエータ

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カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/06/01

タイトル(英語): Micro Inertial Driving Actuator with Built-in Position Sensor

著者名: 松木 薫(オリンパス(株)研究開発センター),高橋 雅矢(オリンパス(株)研究開発センター),森島 哲矢(オリンパス(株)研究開発センター)

著者名(英語): Kaoru Matsuki (Olympus Corporate R&D Center), Masaya Takahashi (Olympus Corporate R&D Center), Tetsuya Morishima (Olympus Corporate R&D Center)

キーワード: アクチュエータ,慣性駆動,複数駆動,内臓センサ,静電吸着力,圧電素子  Actuator,Inertial drive,Multi-drive,Built-in sensor,Electrostatic force,Piezoelectric device

要約(英語): The micro inertial drive actuator, which can move two sliders independently, at 2.5 mm in width, 2 mm in height, and 20 mm in length was made as an experiment, and the basic characteristic was evaluated. As a result, we confirmed the movement speed of about 35 mm/s (drive frequency of 16 kHz) in the applied voltage of 80 V. In addition, we indicated that the position detection of the slider by a built-in sensor was possible, and achieved the position accuracy of ± 20 μm by using the control system with the build-in sensor.

本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.134 No.6 (2014) 特集:第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集

本誌掲載ページ: 140-145 p

原稿種別: 論文/日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/6/134_140/_article/-char/ja/

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