位置検出機能を内蔵した超小型慣性駆動アクチュエータ
位置検出機能を内蔵した超小型慣性駆動アクチュエータ
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門
発行日: 2014/06/01
タイトル(英語): Micro Inertial Driving Actuator with Built-in Position Sensor
著者名: 松木 薫(オリンパス(株)研究開発センター),高橋 雅矢(オリンパス(株)研究開発センター),森島 哲矢(オリンパス(株)研究開発センター)
著者名(英語): Kaoru Matsuki (Olympus Corporate R&D Center), Masaya Takahashi (Olympus Corporate R&D Center), Tetsuya Morishima (Olympus Corporate R&D Center)
キーワード: アクチュエータ,慣性駆動,複数駆動,内臓センサ,静電吸着力,圧電素子 Actuator,Inertial drive,Multi-drive,Built-in sensor,Electrostatic force,Piezoelectric device
要約(英語): The micro inertial drive actuator, which can move two sliders independently, at 2.5 mm in width, 2 mm in height, and 20 mm in length was made as an experiment, and the basic characteristic was evaluated. As a result, we confirmed the movement speed of about 35 mm/s (drive frequency of 16 kHz) in the applied voltage of 80 V. In addition, we indicated that the position detection of the slider by a built-in sensor was possible, and achieved the position accuracy of ± 20 μm by using the control system with the build-in sensor.
本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.134 No.6 (2014) 特集:第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集
本誌掲載ページ: 140-145 p
原稿種別: 論文/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/6/134_140/_article/-char/ja/
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