フィジカルセンサの基礎と発展

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/07/01

タイトル(英語): Basics and Developments of Physical Sensors

著者名: 室　英夫（千葉工業大学）

著者名(英語): Hideo Muro (Chiba Institute of Technology)

キーワード: フィジカルセンサ，MEMS，マイクロマシーニング　　physical sensors，MEMS，micromachining

要約(英語): The physical sensors have been playing an essential role in realizing various electronic control systems. This paper describes the basics of these physical sensors including their classification, operation principals and the relevant MEMS sensors, followed by the history of their developments.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.7 （2014） 特集：フィジカルセンサの基礎

本誌掲載ページ: 169-174 p

原稿種別: 解説／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/7/134_169/_article/-char/ja/