加速度センサ・角速度センサ（ジャイロスコープ）

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/07/01

タイトル(英語): Acceleration Sensors and Angular Rate Sensors (Gyroscopes)

著者名: 前中　一介（兵庫県立大学 大学院工学研究科）

著者名(英語): Kazusuke Maenaka (University of Hyogo)

キーワード: 加速度センサ，角速度センサ，ジャイロスコープ，MEMS　　Acceleration Sensors，Angular Rate Sensors，Gyroscopes，MEMS

要約(英語): This article is dealing with current status and trend of acceleration sensors and angular rate sensors (gyroscopes). Recently, MEMS acceleration sensors and gyroscopes are widely used for consumer electronics, such as cellular phones and digital cameras, as well as equipment in plants and automobiles. In the devices, the cost and size are constantly reduced whereas their performances are increased. In this paper, basics of an acceleration sensor and gyroscope and example structures of them are shown and some trends of the devices are discussed.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.7 （2014） 特集：フィジカルセンサの基礎

本誌掲載ページ: 175-180 p

原稿種別: 解説／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/7/134_175/_article/-char/ja/