MEMS圧力センサの基礎と発展

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/07/01

タイトル(英語): Fundamental and Application of MEMS Pressure Sensor

著者名: 嶋田　智（（株）古賀総研）

著者名(英語): Satoshi Shimada (Koga Soken Corporation)

キーワード: 圧力センサ，半導体センサ，MEMS　　Pressure Sensor，Semiconductor Sensor，MEMS

要約(英語): Currently, pressure sensors are used in various fields such as industrial process applications, automotive applications, the portable information equipment. Sensor detection method suitable for the environment and the measurement range of the fluid used has been developed. In this paper, the author describes the applications and the basic structure of a MEMS pressure sensor that contributed to the development. And describes the history technical challenges of the development, as well as the expected future technology.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.7 （2014） 特集：フィジカルセンサの基礎

本誌掲載ページ: 181-185 p

原稿種別: 解説／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/7/134_181/_article/-char/ja/