赤外線センサ
赤外線センサ
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門
発行日: 2014/07/01
タイトル(英語): Infrared Sensor
著者名: 木股 雅章(立命館大学)
著者名(英語): Masafumi Kimata (Ritsumeikan University)
キーワード: 熱型赤外線センサ,抵抗ボロメータ,ダイオード,サーモパイル thermal infrared sensor,resistance bolometer,diode,thermopile
要約(英語): Thermal infrared focal plane arrays and small-format infrared array sensors are attracting much attention for extending our sense of sight. These infrared sensors are manufactured with the MEMS (Microelectromechanical Systems) technology, which is a powerful method to fabricate high thermal isolation structures. This paper reviews basics and state-of-the-art of MEMS-based infrared sensors. Business trends in the low-end infrared sensor market are also discussed.
本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.134 No.7 (2014) 特集:フィジカルセンサの基礎
本誌掲載ページ: 193-198 p
原稿種別: 解説/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/7/134_193/_article/-char/ja/
受取状況を読み込めませんでした
