アコースティックエミッション計測のためのカンチレバーを用いた超音波センサの製作と真空中特性
アコースティックエミッション計測のためのカンチレバーを用いた超音波センサの製作と真空中特性
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門
発行日: 2014/07/01
タイトル(英語): Fabrication of Ultrasonic Sensors using Micro Cantilevers and Characteristic Measurement in Vacuum for Acoustic Emission Sensing
著者名: 高田 健伍(東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻),佐々木 敬(東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻),田中 満之((株)メムス・コア),齋藤 寛(三菱重工(株)),松浦 大輔(三菱重工(株)),羽根 一博(東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻)
著者名(英語): Kengo Takata (Department of Nanomechanics, Tohoku University), Takashi Sasaki (Department of Nanomechanics, Tohoku University), Mitsuyuki Tanaka (MEMS CORE Co. Ltd.), Hiroshi Saito (Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.), Daisuke Matsuura (Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.), Kazuhiro Hane (Department of Nanomechanics, Tohoku University)
キーワード: アコースティックエミッションセンサ,シリコンカンチレバー,ピエゾ抵抗効果,Q値,真空パッケージ acoustic emission sensor,silicon cantilever,piezo resistance,Q factor,vacuum package
要約(英語): Acoustic emission (AE) sensor is attractive to detect machine fracture in real-time. We fabricated AE sensors using MEMS technology. The AE sensors consist of silicon cantilevers resonating at the frequencies of 50kHz, 100kHz, and 150kHz. Silicon piezoresistors are installed close to the cantilevers. In order to obtain the ambient pressure appropriate for the operation of cantilevers, the Q factor of cantilever is calculated by the analytical models as a function of pressure. The properties of fabricated sensors were measured in vacuum chamber. We also tentatively packaged the AE sensor and an amplifier in vacuum to decrease the influences of air damping and noise.
本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.134 No.7 (2014) 特集:フィジカルセンサの基礎
本誌掲載ページ: 212-217 p
原稿種別: 論文/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/7/134_212/_article/-char/ja/
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