水晶振動子式メタノール濃度センサに関する数値計算と実証

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/07/01

タイトル(英語): Numerical Calculation and Experimental Verification of a Quartz-crystal-resonator-based Methanol Concentration Sensor

著者名: 渡部　尊（新潟大学大学院 自然科学研究科），外山　晋二郎（新潟大学大学院 自然科学研究科），寒川　雅之（新潟大学大学院 自然科学研究科），安部　隆（新潟大学大学院 自然科学研究科）

著者名(英語): Takeru Watanabe (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Shinjiro Toyama (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Masayuki Sohgawa (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Takashi Abe (Graduate School of Science and Technology, Niigata University)

キーワード: 水晶振動子，櫛形コンデンサ，メタノール濃度センサ　　Quartz crystal resonator，Interdigital capacitor，Methanol concentration sensor

要約(英語): In this paper, we report the numerical calculation and experimental verification of a quartz-crystal-resonator-based methanol concentration sensor for fuel cell applications. This sensor is composed of a quartz crystal resonator (QCR) and an interdigital capacitor (IDC). Our sensor can detect a very small capacitance change with a resolution of sub fF. The fabricated sensor can measure a methanol concentration with a resolution of 0.008 wt%. In the present study, we found out optimized sensor design (QCR and IDC) for the substrate thickness and the range of the methanol concentration. By the use of this study, the capacitive sensor with higher resolution can be realized, and it can be expected to apply to various types of capacitive sensors.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.7 （2014） 特集：フィジカルセンサの基礎

本誌掲載ページ: 224-228 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/7/134_224/_article/-char/ja/